干式真空泵（也稱干式機械泵）是指泵在常壓下可啟動抽氣，可將抽吸的氣體直接排放到大氣中。泵腔內無油或其他工作介質，壓力等于或接近油封真空泵的機械真空泵。

截至2013年，真空行業(yè)使用的機械真空泵大多采用油、水或其他聚合物等流體作為泵的工作介質，在泵內具有冷卻、密封、潤滑等多重功能。隨著科學技術的發(fā)展和真空應用領域的擴大，原有的機械真空泵及其排氣系統(tǒng)有兩個迫切需要解決的問題：一是泵的工作介質倒流，污染被抽容器，而這種回流在很多情況下，會影響產品的質量和數(shù)量，增加設備的維護成本。其次，真空泵中的介質由于某些過程中的反應物而嚴重變質，使泵無法正常工作。

對于普通的無油真空系統(tǒng)，雖然可以使用油封真空泵和冷阱或吸附阱等附件來防止回流，但不能徹底解決問題，使系統(tǒng)復雜化。使用合適類型的干式真空泵可以達到預期的效果。

干式真空泵應用廣泛，主要表現(xiàn)在以下幾個方面：

1、低壓化學氣相沉積多晶硅制備工藝；

2、半導體蝕刻工藝。在這些生產過程中經(jīng)常使用干式真空泵或產生腐蝕性氣體和磨料顆粒；

3、對于半導體工藝以外的一些會產生顆粒的工藝，預計顆粒不會混入干式真空泵的泵油中，預計顆粒會從泵中排出。某些類型的干式機械真空泵可以滿足要求；

4、化工、醫(yī)藥、食品等行業(yè)的蒸餾、干燥、脫氣、包裝過程中，應防止有機溶劑造成污染，應使用干式真空泵；

5、采用干式真空泵作為一般無油潔凈真空系統(tǒng)的前級泵，防止油污。